产品详情：
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工作范围 |
mm |
φ0.025mm to φ1mm |
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Z方向最大变焦范围 |
mm |
±1mm |
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系统入射光斑大小 |
mm |
10mm |
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聚焦光斑大小(1/e²)M²=1 |
um |
25um |
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最大进给角度 |
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18° |
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旋进频率 |
HZ |
200-600HZ（12000-36000rpm） |
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物镜焦距 |
mm |
50mm |
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重复精度 |
um |
≤0.5um（常温老化8H） |
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入射角的理论分辨率 |
urad |
2urad |
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尺寸(L*W*H) |
mm |
601×280×274 |
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重量 |
Kg |
23.5 |
